寧波民企攻克國家科技重大專項
寧波民企攻克國家科技重大專項
2017年05月27日 10:09:27 來源:浙江在線 作者:翁云騫
日前，科技部國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”實施管理辦公室在寧波召開驗收會，由民企浙江金瑞泓科技股份有限公司牽頭的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項目順利通過驗收。這標志著我國大直徑硅片國產(chǎn)化進程邁出重要一步。
集成電路芯片是信息時代的核心基石，而硅片又是集成電路和分立器件制造核心基礎(chǔ)材料，在整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位顯而易見，但我國大尺寸硅片長期依賴進口，制約了相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和供應(yīng)鏈安全。《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》確定了16個重大專項，其中“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”就位列其中。
“硅片市場壟斷性強，國內(nèi)單月需求量超過70萬片，可國內(nèi)半導體企業(yè)的供應(yīng)量還不到10萬片。憑借多年來與浙江大學硅材料國家重點實驗室等院所合作積累下的技術(shù)優(yōu)勢，我們的國產(chǎn)8英寸半導體硅片生產(chǎn)工藝和技術(shù)指標不斷提升，已具備跟國際一線廠商正面競爭的實力?！苯鹑疸萍枷嚓P(guān)負責人表示。
尺寸越大，硅片的各項技術(shù)指標就越高，生產(chǎn)難度也越大。記者了解到，自從承擔國家科技重大專項以來，金瑞泓科技相關(guān)團隊不斷實現(xiàn)關(guān)鍵性制備技術(shù)突破，目前已完全掌握多項核心技術(shù)。截至目前，金瑞泓科技共獲相關(guān)授權(quán)發(fā)明專利35項，制定行業(yè)標準40余項，同時也成為國內(nèi)唯一擁有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片等全系產(chǎn)品生產(chǎn)能力的半導體企業(yè)，具備月產(chǎn)12萬片拋光片、5萬片外延片的產(chǎn)能。
在金瑞泓科技等企業(yè)帶動下，寧波已成為國內(nèi)知名的集成電路材料基地，在全省乃至全國處于領(lǐng)先地位。寧波還成立了首期規(guī)模100億元、按市場化機制運行的集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，志在打造國家級集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專用材料產(chǎn)業(yè)基地，規(guī)劃建成長三角南翼集成電路產(chǎn)業(yè)強市。
責任編輯：樓昕
